金子研究室の技術が製品化、サンプル供給が開始されました

金子忠昭・関西学院大学理工学部先進エネルギーナノ工学科教授と東洋炭素株式会社は、国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）のプロジェクトにおいて、コア技術の「Si蒸気圧エッチング技術」を用いた「SiCウエハの平坦表面処理技術」を完成、従来の処理法に比べて欠陥を1／20に低減しました。

さらに、この「Si蒸気圧エッチング技術」を応用することで、ウエハ薄板化加工も容易となり、高品質薄板化SiCエピウエハの製造を可能としました。本技術を用いることでSiCデバイスの実用化が加速、自動車や機器の省エネ化を可能にします。
東洋炭素(株)は、これらの開発技術を統合して、量産製造装置の導入、製品化し、特定顧客へ「高品質薄板化SiCエピウエハ」のサンプル供給を開始しました。