1. 藤原 明比古 教授(ナノスケール構造物性研究室)
  2. 研究内容
  3. 酸化物半導体の構造・物性評価とデバイス作製

酸化物半導体の構造・物性評価とデバイス作製

藤原明比古研究室では、基礎物質科学の視点で、酸化物半導体の構造・物性評価を行い。新規材料開発に貢献します。

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1. アモルファス酸化物半導体の構造理解

 アモルファス酸化物半導体は、次世代ディスプレーの駆動素子材料として期待されていますが、安定性等の問題があります。この問題を解決するために、構造の安定性、機能の安定性向上に向けた材料評価を行います。このためにSPring-8を活用した先端放射光分析を行っております。

2. 溶液プロセスによるアモルファス酸化物半導体薄膜トランジスタの作製

 アモルファス酸化物半導体は、次世代ディスプレーの駆動素子材料として期待されています。これらを印刷技術によって作製できれば、材料やエネルギーの利用効率が格段に向上します。このような地球環境に易しい半導体素子作製を目指して、溶液プロセスによる薄膜トランジスタ作製を行っております。

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